应用

半导体、平板显示器和光伏行业

用于为半导体生产系统供应超纯气体

产品特性

高精度压力测量0.15 % RSS

*的长期稳定性

信号降噪和屏蔽

真空基准压力测量

主动温度补偿

描述

可靠

WUD-2x系列超高纯度传感器将的传感器理念与模拟输出信号相结合，能够为当前市场需求提供zui安全、zui*的压力测量。

基于真正真空基准的压力测量技术，加上带干扰屏蔽及噪音消除的电子测量技术，确保了高精度压力测量以及优异的长期稳定性。

主动温度补偿可降低温度变化对传感器的影响，即使在温度变化很大的应用中仍然能够安全使用，如气体膨胀时的焦耳汤姆逊效应。

WUD-25管道式及WUD-26表面安装传感器 采用特别设计，可承受安装带来的扭曲应力。特殊的薄膜设计可消除过程连接或焊接接缝处的负载造成的传感器失效风险。

多用途

WUD-2x可轻松安装于“on-tool”配气系统中。明亮的LED显示屏可旋转，因此可从任意位置轻松查看读数。

配备2个可编程开关输出，可针对具体应用进行监测及控制。

结构紧凑

WUD-2x是市面上zui紧凑的UHP传感器，够用于安装空间狭小的场合，甚至可轻松对现有装置进行改装。